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熱式氣體質量流量控制器 AC-S030C
氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）、SLM（標準升每分鐘）
標準狀況：溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號 AC-S030C
流量規格（氮氣） 10SCCM-30SLM
控制量程 2%-100 %
精度 ≤±1.0%F.S
線性 ≤±0.5%F.S
重復性 ≤±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應時間 1-3sec
耐壓 ≤0-50Bar
通信信號 0-5V/4-20mA
供電方式 15VDC or 24VDC (300mA)
泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He
熱式氣體質量流量控制器 AC-S030C
應用行業：真空鍍膜設備、石油化工、航空航天、醫藥制造業、火電、核電、天*然*氣加氣站、太陽能、 液晶面板制造半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環境保護設
備、各種分析儀器設備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備等行業的公司
